產品簡介：隨著半導體技術的進步以及半導體激光器在通信、信息處理等領域的應用日益活躍，制造過程中使用的特種氣體種類和數量不斷增加。本系統采用氣相色譜法，可自動檢測半導體材料氣體中痕量雜質及組分含量。
產品型號：
更新時間：2025-11-27
廠商性質：生產廠家
訪 問 量 ：38
021-61434006
可測量鍺烷（GeH）、磷化氫（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半導體氣體中的雜質成分。
通過高性能氣相色譜儀可實現高精度自動檢測（操作簡便）。
可檢測氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮氣（N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、C2組分、C3組分等雜質。
可測量鍺烷（GeH）、磷化氫（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半導體氣體中的雜質成分。
通過高性能氣相色譜儀可實現高精度自動檢測（操作簡便）。
可檢測氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮氣（N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、C2組分、C3組分等雜質。
可測量鍺烷（GeH）、磷化氫（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半導體氣體中的雜質成分。
通過高性能氣相色譜儀可實現高精度自動檢測（操作簡便）。
可檢測氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮氣（N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、C2組分、C3組分等雜質。
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